近日，由市工业展览馆、清华-伯克利RISC-V国际开源实验室、硅谷计算机历史博物馆等单位联合举办的“RISC 40周年芯计展”在深圳市工业展览馆正式开幕

振动传感器广泛应用于基础设施健康、交通安全、生物医学设备、智能电子产品、机械设备振动监测等领域。然而，物联网与无线传感器网络的迅速发展对振动传感提出了新的挑战，尤其是在需要大量传感器部署且缺乏电能供给的场合，以传统传感方案难以实现长期有效的感知监测。解决这一问题的有效方案是开发自驱动的振动传感器。同时，随着物联网的发展，机械设备正朝着高度自动化、智能化、高效率的方向发展。例如，无人船可承担大规模、长期间、低成本的作业任务，在军民领域均具有重要的应用价值。但是，机械设备的长时间稳定运行，需要对其运行状况进行实时监测。一旦运行状态出现异常，需要立即采取维护措施。传感器可能经常暴露在高温、高湿的恶劣环境中。并且，需要考虑到在大范围部署传感网络时传感器的成本与功耗，即使在电力系统发生故障时，传感器仍需要正常工作。因此，自驱动振动传感器具有独特的研究与应用价值。近日，清华-伯克利深圳学院丁文伯助理教授的智能感知与机器人(Smart Sensing and Robotics, SSR)课题组开发了一种基于摩擦纳米发电机（TENG）的高灵敏度自驱动振动传感器。利用柔性介电薄膜与多孔金属材料构建摩擦层

近日，基于对光栅衍射及其在超高精度干涉测距与成像应用的深入研究，我院李星辉副教授、王晓浩研究员团队应邀撰文综述高端光刻机光栅定位与套刻测量技术发展。电子信息产业是社会支柱之一，大规模集成电路是电子信息产业的基础，高端集成电路的自给自足迫在眉睫。光刻机作为集成电路制造的核心装备，其国产化是我国电子信息产业独立自主健康发展的重大战略需求。我国在14nm及以下工艺制程的光刻机仍依赖于进口，突破其中的关键技术、提升关键零部件的国产化比例，具有重要意义。围绕光刻机关键零部件晶圆台的超精密定位和光刻工艺套刻误差测量的需求，李星辉、王晓浩团队开展了长期的研究。首先，在目前高端光刻机晶圆台的亚纳米级定位需求中，光栅干涉测量具有较大优势，测量分辨率可达17pm，长期测量稳定性可达0.22nm，采用先进的二维平面光栅可以实现空间六自由度测量，是14nm及以下光刻工艺制程的重要技术路线。其中需要突破的关键技术包括多自由度与绝对式测量原理、大面积二维平面计量光栅的制作与表征、大规模并行数据的同步处理等。其次，围绕评价多层光刻工艺之间对准、监控光刻工艺良率的关键参数“套刻误差”，基于衍射技术的套刻测量技术（DB

在新冠疫情的防控过程中，大规模的社区志愿服务活动已成为基层治理的重要组成部分

环境感知在未来人机交互和虚拟现实的应用中有广泛前景