微纳加工平台是在深圳市政府的大力规划和支持下，由清华-伯克利深圳学院建设的开放式微纳加工共享平台，平台向校内及校外高校、科研机构及企业提供开放式的微纳加工服务和合作。
建成近250m2的微纳加工洁净室，设有百级、千级实验区，硬件配置上覆盖薄膜制备、加工表征、晶圆封测一系列工艺要求，洁净室内包括黄光区、湿法工艺区、干法工艺区、表征测试区等。
双束聚焦离子束仪FEI；Helios G4 UC
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地址：清华大学深圳国际研究生院能源环境大楼负二楼
