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  • 微纳加工与器件集成平台

    微纳加工平台是在深圳市政府的大力规划和支持下,由清华-伯克利深圳学院建设的开放式微纳加工共享平台,平台向校内及校外高校、科研机构及企业提供开放式的微纳加工服务和合作。




  • 满足多尺度多类型的微纳加工、分析表征需求

    建成近250m2的微纳加工洁净室,设有百级、千级实验区,硬件配置上覆盖薄膜制备、加工表征、晶圆封测一系列工艺要求,洁净室内包括黄光区、湿法工艺区、干法工艺区、表征测试区等。

       

         


  • 形貌表征、刻蚀工艺

    双束聚焦离子束仪FEI;Helios G4 UC



  • 图形表征与分析


  • 封装工艺



  • 刻蚀工艺




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    联系电话:0755-21678389

    地址:清华大学深圳国际研究生院能源环境大楼负二楼


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