微纳加工与器件集成平台

微纳加工平台是在深圳市政府的大力规划和支持下，由清华-伯克利深圳学院建设的开放式微纳加工共享平台，平台向校内及校外高校、科研机构及企业提供开放式的微纳加工服务和合作。