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满足多尺度多类型的微纳加工、分析表征需求
2022-08-27
建成近
250
m
2
的微纳加工洁净室,设有百级、千级实验区,
硬件配置上覆盖薄膜制备、加工表征、晶圆封测一系列工艺要求,
洁净室内包括黄光区、湿法工艺区、干法工艺区、表征测试区等。