满足多尺度多类型的微纳加工、分析表征需求

2022-08-27

建成近250m2的微纳加工洁净室,设有百级、千级实验区,硬件配置上覆盖薄膜制备、加工表征、晶圆封测一系列工艺要求,洁净室内包括黄光区、湿法工艺区、干法工艺区、表征测试区等。