MEMS及其应用

本课程将采用讲座、特邀报告、主题讨论和翻转课堂等形式。讲座和报告的题目将围绕MEMS的发展历程和技术特点、MEMS领域的研究热点、典型MEMS器件及其应用等展开。讨论课将设主题研究，加强学生科研素质的训练。翻转课堂将引导学生利用互联网、清华大学和UC Berkeley的丰富资源来完成指定内容的学习。